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油扩散泵的常见故障及原因

来源:东莞鑫盛达机电设备有限公司      时间:2024-02-24 08:41:00

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由于真空设备长期运转及其他一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下;

 

1)极限真空度变低,原因:a.系统中有渗漏;b.系统太脏;c.泵油污染;d.加热功率不够;e.冷却水不足;f.过量或过冷的冷却水;g.前级压力高,检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象;h.快冷管内有水。

2)抽气较慢,原因:a.加热功率低;b.油量不足;c.喷帽安装位置不当或受损。

3)进口压力波动,原因:a.加热器输入功率不当;b.油脱气;c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4)工作腔污染大,原因:a.前级压力高;b.在高于10-1Pa压力下长期工作;c.系统操作有误。

5)返油率过大,原因:a.顶喷嘴帽松动,间隙过大;b.加热功率不对。

扩散泵的油蒸气并不完全是放射性地沿泵腔向下运动,由于随机的散射或带方向性的放射,从喷嘴喷出的蒸气有部分分子也向真空泵泵口方向移动,这样就形成了返流;返流是扩散泵系统的主要污染。

因此,为了减少返流,在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置,例如:加上水冷的捕集器,可以使返流降低50%,而同时泵的抽速也只是降低10%左右。不幸的是,捕集返流的效率越高,对泵抽速的影响就会越大,例如:一个用水或液氮冷却的几乎可以完全捕集返流的装置,可能会使抽速降低30%

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